高真空熱離子真空計 - 無源 IE414 & IE514 傳感器

IE414和IE514是基于熱陰極電離效應的高超真空傳感器。 IE414是Bayard-Alpert量規，而IE514基于Extractor提取 器原理。這些無源真空計由IM540真空計控制器組合和 控制。通過調節陰極發射電流，IE414的測量范圍從 1×10-2毫巴到1×10-11毫巴，跨度超過9級。由于其固有 的X射線和離子解吸效應的減少，Extractor原理使IE514 達到2×10-12mbar的較低測量極限。

優勢：

•高精度、單獨校準的傳感器

•可更換陰極 •高溫烘烤400°C IE414 Bayard-Alpert傳感原理

•測量范圍為2×10-11毫巴（1.5×10-11Torr）

•防護罩焊接到位 IE514 •Extractor吸附傳感原理

•低測量極限至2×10-12mbar（0.75×10-12Torr）

•顯著降低 X 射線和離子解吸效應

應用范圍：需要在超高真空范圍和高溫烘烤下進行精確真空測量的科學和研發應用。

運行套件：真空計控制器 IM540。